【壓縮機(jī)網(wǎng)】近日,歐司特增壓機(jī)正式交付頭部外資企業(yè),應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)電子氣場(chǎng)景,為半導(dǎo)體精密制程量身提供高穩(wěn)定性、高可靠性的專業(yè)氣體解決方案。
半導(dǎo)體晶圓制造的良率之戰(zhàn),在于這幾個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)——電子氣腐蝕、氣體污染、壓力波動(dòng)、設(shè)備停擺。長期以來,在半導(dǎo)體精密制程所需的防腐無油增壓機(jī)領(lǐng)域,外資品牌占據(jù)主導(dǎo)地位。
如今,這一局面正在被打破。
這不僅標(biāo)志著歐司特邁出關(guān)鍵一步,也意味著國產(chǎn)高端離心式壓縮機(jī)在半導(dǎo)體核心工藝環(huán)節(jié),實(shí)現(xiàn)了替代進(jìn)口的重要突破。
01 C4防腐+無油工藝,筑牢供氣純凈防線
針對(duì)半導(dǎo)體芯片精密制程與電子氣腐蝕工況,該設(shè)備采用C4級(jí)防腐設(shè)計(jì),關(guān)鍵部件選用耐腐蝕特種材質(zhì),能有效抵御電子氣等腐蝕性介質(zhì)侵蝕,延長設(shè)備使用壽命,適配半導(dǎo)體行業(yè)復(fù)雜工藝環(huán)境。同時(shí),依托全無油工藝,實(shí)現(xiàn)氣體壓縮全過程與潤滑油零接觸,從根源杜絕油污污染,確保輸出氣體高純潔凈,完全契合芯片精密制程標(biāo)準(zhǔn),守住產(chǎn)線良率底線。

02 節(jié)能降耗雙突破,嚴(yán)控企業(yè)運(yùn)營成本
設(shè)備選用密封氣回收系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)密封氣體循環(huán)利用,減少氣體損耗;搭配一級(jí)能效設(shè)計(jì),搭載高效氣動(dòng)部件,大幅降低運(yùn)行能耗。相較于傳統(tǒng)設(shè)備,顯著壓縮企業(yè)運(yùn)營成本,兼顧環(huán)保性與經(jīng)濟(jì)性,助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)綠色低碳生產(chǎn)。

03 穩(wěn)定高效,適配產(chǎn)線24小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)
采用高精度增壓結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定增壓輸出,嚴(yán)格控制壓力波動(dòng),精準(zhǔn)匹配芯片制程壓力需求。經(jīng)多輪可靠性測(cè)試,設(shè)備具備低故障率、高穩(wěn)定性特點(diǎn),可完美適配半導(dǎo)體產(chǎn)線24小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)模式,避免因設(shè)備停機(jī)導(dǎo)致生產(chǎn)中斷,保障產(chǎn)線高效運(yùn)轉(zhuǎn)。

此次與頭部外資企業(yè)達(dá)成深度配套合作,既是市場(chǎng)對(duì)歐司特產(chǎn)品技術(shù)實(shí)力與品質(zhì)的認(rèn)可,也標(biāo)志著其增壓機(jī)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用實(shí)現(xiàn)重要突破。作為一家專注于離心式壓縮機(jī)研發(fā)與制造的企業(yè),歐司特始終聚焦半導(dǎo)體等高端制造領(lǐng)域的核心需求,穩(wěn)良率、少停機(jī)、降成本,堅(jiān)持自主研發(fā)與技術(shù)迭代。
未來,歐司特將繼續(xù)深耕半導(dǎo)體芯片制造領(lǐng)域,推出更多定制化氣體增壓解決方案,助力產(chǎn)業(yè)降低進(jìn)口依賴,推動(dòng)我國芯片制造產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展。
【壓縮機(jī)網(wǎng)】近日,歐司特增壓機(jī)正式交付頭部外資企業(yè),應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)電子氣場(chǎng)景,為半導(dǎo)體精密制程量身提供高穩(wěn)定性、高可靠性的專業(yè)氣體解決方案。
半導(dǎo)體晶圓制造的良率之戰(zhàn),在于這幾個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)——電子氣腐蝕、氣體污染、壓力波動(dòng)、設(shè)備停擺。長期以來,在半導(dǎo)體精密制程所需的防腐無油增壓機(jī)領(lǐng)域,外資品牌占據(jù)主導(dǎo)地位。
如今,這一局面正在被打破。
這不僅標(biāo)志著歐司特邁出關(guān)鍵一步,也意味著國產(chǎn)高端離心式壓縮機(jī)在半導(dǎo)體核心工藝環(huán)節(jié),實(shí)現(xiàn)了替代進(jìn)口的重要突破。
01 C4防腐+無油工藝,筑牢供氣純凈防線
針對(duì)半導(dǎo)體芯片精密制程與電子氣腐蝕工況,該設(shè)備采用C4級(jí)防腐設(shè)計(jì),關(guān)鍵部件選用耐腐蝕特種材質(zhì),能有效抵御電子氣等腐蝕性介質(zhì)侵蝕,延長設(shè)備使用壽命,適配半導(dǎo)體行業(yè)復(fù)雜工藝環(huán)境。同時(shí),依托全無油工藝,實(shí)現(xiàn)氣體壓縮全過程與潤滑油零接觸,從根源杜絕油污污染,確保輸出氣體高純潔凈,完全契合芯片精密制程標(biāo)準(zhǔn),守住產(chǎn)線良率底線。

02 節(jié)能降耗雙突破,嚴(yán)控企業(yè)運(yùn)營成本
設(shè)備選用密封氣回收系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)密封氣體循環(huán)利用,減少氣體損耗;搭配一級(jí)能效設(shè)計(jì),搭載高效氣動(dòng)部件,大幅降低運(yùn)行能耗。相較于傳統(tǒng)設(shè)備,顯著壓縮企業(yè)運(yùn)營成本,兼顧環(huán)保性與經(jīng)濟(jì)性,助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)綠色低碳生產(chǎn)。

03 穩(wěn)定高效,適配產(chǎn)線24小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)
采用高精度增壓結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定增壓輸出,嚴(yán)格控制壓力波動(dòng),精準(zhǔn)匹配芯片制程壓力需求。經(jīng)多輪可靠性測(cè)試,設(shè)備具備低故障率、高穩(wěn)定性特點(diǎn),可完美適配半導(dǎo)體產(chǎn)線24小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)模式,避免因設(shè)備停機(jī)導(dǎo)致生產(chǎn)中斷,保障產(chǎn)線高效運(yùn)轉(zhuǎn)。

此次與頭部外資企業(yè)達(dá)成深度配套合作,既是市場(chǎng)對(duì)歐司特產(chǎn)品技術(shù)實(shí)力與品質(zhì)的認(rèn)可,也標(biāo)志著其增壓機(jī)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用實(shí)現(xiàn)重要突破。作為一家專注于離心式壓縮機(jī)研發(fā)與制造的企業(yè),歐司特始終聚焦半導(dǎo)體等高端制造領(lǐng)域的核心需求,穩(wěn)良率、少停機(jī)、降成本,堅(jiān)持自主研發(fā)與技術(shù)迭代。
未來,歐司特將繼續(xù)深耕半導(dǎo)體芯片制造領(lǐng)域,推出更多定制化氣體增壓解決方案,助力產(chǎn)業(yè)降低進(jìn)口依賴,推動(dòng)我國芯片制造產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展。


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